Entwicklung eines Wachstumsprozesses für SiC-Wafer mit Durchmessern größer 10cm unter Anwendung der neuen SiC-Quellenmaterialien

Third party funded individual grant


Start date : 20.12.2018

End date : 31.05.2020

Extension date: 30.06.2021


Project details

Involved:

Contributing FAU Organisations:

Funding Source