Erforschung der Oberflächenpräparation und der Rückgewinnung von Aluminiumnitrid-Substraten (ERASE)

Third party funded individual grant


Acronym: ERASE

Start date : 01.03.2019

End date : 28.02.2022


Project details

Short description

The major goal of the project is the development of novel processes for the surface preparation and reclaim of single crystalline Aluminumnitride (AlN) substrates for the purpose of UVC LEDs production.

Fundamental obstacles related to the substrate, which were identified as hindrance for the later full performance and reliability of a device will be addressed. The development of a reclaim procedure will contribute essentially to the cost reduction for the production of UVC devices and to tap the full potential of the future market of such devices. The project aims to contribute to strengthen the national and international competitiveness of companies based in Bavaria focusing on the development of optoelectronic devices for disinfection purposes.


Scientific Abstract

Zielsetzung ist die Entwicklung neuartiger Prozesse zur Oberflächenbearbeitung und zur Wafer-Rückgewinnung („Wafer-Reclaim“) von einkristallinen Aluminiumnitrid (AlN) Substraten für die industrielle Herstellung von UVC Leuchtdioden.

Das Projekt adressiert hierbei fundamentale Problemstellungen zur Oberflächenpräparation der AlN Substrate, die als limitierende Faktoren für die Ausbeute und Zuverlässigkeit von Bauelemente identifiziert wurden. Weiterhin liefert die Entwicklung einer Wafer-Rückgewinnung der AlN Substrate einen entscheidenden Beitrag zur notwendigen Kostenreduktion bei der industriellen LED Produktion, um den UVC LED Markt voll zu erschließen. Das Vorhaben leistet einen wesentlichen Beitrag zur langfristigen Stärkung des Wirtschaftsstandortes Bayern und die nationale und internationale Wettbewerbsfähigkeit bayerischer Betriebe bei der Entwicklung opto-elektronischer Systeme für die Entkeimung und Umweltanalytik.

Involved:

Contributing FAU Organisations:

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