Liquid-phase processing of silicon thin films and electron devices based on polysilane precursors (FR 713/9-1)

Third party funded individual grant


Acronym: FR 713/9-1

Start date : 15.03.2014

End date : 14.03.2017


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Im beantragten Vorhaben wird die Abscheidung von Silicium-Dünnfimen aus gelösten und formulierten Polysilan-Präkursoren für den Einsatz in elektronischen Bauelementen untersucht. Gegenüber anderen anorganischen Materialsystemen aus der Flüssigphase verspricht die Herstellung von Silicium-Dünnfilmen Vorteile hinsichtlich fundamentaler Materialeigenschaften (Beweglichkeiten, Lebensdauern), Stabilität und Zuverlässigkeit sowie der Beeinflussbarkeit von Materialparametern (z.B. Dotierung). Die wissenschaftliche Herausforderung des Vorhabens besteht in signifikanten Verbesserungen in

Scientific Abstract

Im beantragten Vorhaben wird die Abscheidung von Silicium-Dünnfimen aus gelösten und formulierten Polysilan-Präkursoren für den Einsatz in elektronischen Bauelementen untersucht. Gegenüber anderen anorganischen Materialsystemen aus der Flüssigphase verspricht die Herstellung von Silicium-Dünnfilmen Vorteile hinsichtlich fundamentaler Materialeigenschaften (Beweglichkeiten, Lebensdauern), Stabilität und Zuverlässigkeit sowie der Beeinflussbarkeit von Materialparametern (z.B. Dotierung). Die wissenschaftliche Herausforderung des Vorhabens besteht in signifikanten Verbesserungen in

Konkret sollen bisher nicht demonstrierte, multifunktionale Silanmoleküle mit dotierender oder kristallisationsunterstützender Funktion synthetisiert und angewandt werden und- der Umsetzung der abgeschiedenen Präkursorfilme zu amorphen, nano- oder polykristallinen Siliciumfilmen unter den Anforderungen der gedruckten Elektronik, speziell

Die Anwendbarkeit der Siliciumdünnfilme wird anhand ausgewählter uni- und bipolarer elektronischer Bauelemente, d.h.konkret an den Beispielen Dünnfilmtransistor und Solarzelle demonstriert. Im Vordergrund steht die Optimierung der elektrischen Eigenschaften der Dünnfilme (Defekte, Ladungstransport, Dotierbarkeit) im Hinblick auf die Zielbauelemente.Die interdisziplinäre Aufgabenstellung wird von zwei Antragstellern mit ausgewiesenen Kompetenzen in den Bereichen Siliciumchemie (TU BA Freiberg) und Bauelemente- und Prozesstechnik (FAU Erlangen) in enger Kooperation bearbeitet.

Involved:

Contributing FAU Organisations:

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