Hochgenaue Positionsmessung mit Hilfe von Mikrowellen-Interferometrie und unter Verwendung einer modifizierten Fin-Line-Struktur als Wegaufnehmer


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Inventor/Co-Inventor


Barbon, Francesco
Lindner, Stefan
Mann, Sebastian
Kölpin, Alexander PD Dr.
Vinci, Gabor

Last updated on 2017-21-08 at 11:35