Hochgenaue Positionsmessung mit Hilfe von Mikrowellen-Interferometrie und unter Verwendung einer modifizierten Fin-Line-Struktur als Wegaufnehmer


Zugehörige Patente


DE102013202765: Elektrisches Messsystem
US 2014-0232417 A1: Elektrisches Messsystem
CN103994738A: Elektrisches Messsystem


Erfinder/Miterfinder


Barbon, Francesco
Lindner, Stefan
Mann, Sebastian
Kölpin, Alexander PD Dr.
Vinci, Gabor

Zuletzt aktualisiert 2017-21-08 um 11:35