Silicon Semiconductor Technology


Organisation:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

FAU Contact:
Frey, Lothar Prof. Dr.

Description:


Am LEB werden Bauelemente basierend auf Silicium für unterschiedliche Anwendungsbereiche entwickelt, hergestellt und charakterisiert. Gemeinsam mit dem Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB wird ein modernes Reinraumlabor mit umfangreicher Prozesstechnik betrieben. Ausgehend von der  Entwicklung, Charakterisierung und Simulation von Einzelprozessen bilden Forschungsarbeiten zur Entwicklung und Prozessintegration von Bauelementen einen Schwerpunkt der Aktivitäten. 



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Last updated on 2018-24-10 at 15:42