Optical metrology
Description / Outline
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Absolutprüfverfahren für Asphären unter Verwendung von Combo-Hologrammen
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Wellenfrontmessung mit Shearing-Interferometrie bei simultaner Erfassung beider Richtungsableitungen
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Interferometrische Vermessung eines hochgeöffneten Parabolspiegels
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Überlagerungsstreifen für Weißlichtinterferometrie und Empfindlichkeitssteigerung
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Homogenitätsprüfung von Glasplatten mittels Frequenzkamm-Interferometrie
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Reduzierung der Phasensingularitäten in der Speckle-Shearing-Interferometrie
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Gleichzeitige Bestimmung von Phase und Polarisation einer allgemeinen Welle
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